美国派克热补偿比例阀,VSO低流量

VSO® 低流量
热补偿比例阀

VSO® LF (低流量)提供跟 VSO® 阀一样的功能，在提高流量控制非常关键或流量需要0 - 500 sccm应用中，这个微型电磁阀通过比例控制输入电流来自动控制气体流量。

特征
• 市场上最低流量的比例阀。
• 采用直流电流或者脉宽调制控制；闭环控制提供最优的系统性能。
• 提供计算机自动校准及满度校准可追溯性。
• 额定使用寿命1000万次。
• 通过热补偿保持理想的流通。
• 高重复性。
• RoHS认证。

典型应用：
• 气相色谱分析
• 质谱分析
• 压力及流量控制
• 质量流量控制